一、光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機的使用注意事項：

　　1）光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機組的正常開、停機須嚴(yán)格按照光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機廠家提供的操作說明書的步聚進行操作。

　　2）機組在運行過程中，應(yīng)及時、正確地做好參數(shù)的記錄工作，如出現(xiàn)報警停機，應(yīng)及時通知相關(guān)人員對機組進行檢查，如無法排除故障，可以直接與光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機廠家聯(lián)系。

　　3）機組在運行過程中嚴(yán)禁將水流開關(guān)短接，以免凍壞水管。機房應(yīng)有專門的工作人員負責(zé)，嚴(yán)禁閑雜人員進入機房，操作機組。

　　4）機房應(yīng)配備相應(yīng)的靠譜防護設(shè)備和維修檢測工具，如壓力表、溫度計等，工具應(yīng)存放在固定位置。

　　二、光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機組停機注意事項

　　1）機組在停機后應(yīng)切斷主電源開關(guān)。在停機時期間，應(yīng)該將機組全部遮蓋，防止積灰，與機組無關(guān)的人員不得接觸機器。

　　2）如機組處于長期停機狀態(tài)期間，應(yīng)將冷水、冷卻水系統(tǒng)的內(nèi)部積水全部放凈，防止產(chǎn)生銹蝕。水室端蓋應(yīng)密封住。

　　3）機組長期停機時，應(yīng)做好維修保養(yǎng)工作。